化學濾網是用來去除空氣中的氣態分子污染物(AMC),而AMC可以被分為四大類:MA(酸)、MB(鹼)、MC(揮發性有機化合物VOC)及MD(摻雜物質),這些氣體可能來自於汽車廢氣、大氣臭氧、周遭工廠排放等外部環境,亦或是化學溶劑揮發、蝕刻酸氣等內部製程。
AMC會影響半導體製程良率,也會對人體健康造成危害。需要依據汙染物的種類來挑選正確的過濾濾材:活性碳,改質活性碳,離子交換樹脂,過錳酸鉀才能有效的去除。
濾網種類: 深折景,箱型4V/6V,單法蘭4/6V,客製化濾網
去除氣體: MA,MB,MC